CBN砂轮、金刚石砂轮、电镀CBN砂轮

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介绍一种硅片磨削方法

硅片旋转磨削是一种硅片的磨削方法,这个方法用得是杯型金刚石砂轮立轴或者卧轴磨削方式。


这种磨削方式有以下优点

1. 在保持与转台式磨削相同的磨削深度时,可以通过提高硅片转速和砂轮轴向进给速度实现高效磨削,对给定的砂轮轴向进给速度,通过提高硅片转速,可以减小硅片每转的磨削深度,实现微量切深磨削.

2. 杯形砂轮只是进行轴向切入磨削,砂轮与硅片的接触面积,接触长度和切入角固定,因此磨削力相对比较恒定,加工状态稳定,硅片面型精度高

3. 硅片磨削面型与硅片轴线之间的夹角之间存在定量的关系,通过微调砂轮轴线和工件轴线之间的夹角,从理论上可以实现硅片面型精度的主动控制

4. 磨床只有沿砂轮主轴方向进给运动,简单的结构和运动有利于保证磨床的精度和刚度。

5. 每次加工一个硅片,砂轮进行连续的轴向切入磨削,加工余量不受限制,磨削进给不受硅片之间加工余量不均匀的影响,砂轮的磨损对硅片平整度的影响较小。

6. 硅片磨削设备结构紧凑,容易实现主轴多工位集成。

今天的分享就这些了,中科可定制各种类型CBN/金刚石砂轮

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